氣密與潔凈:直接式隔膜結(jié)構,外部 / 閥座氦質(zhì)譜漏率≤5×10^-12 Pa?m3/s(實績),全部氦檢,適配超高純 / 毒燃性氣體。
長壽命與低磨損:彈簧加載無填料,膜片壽命≥2 萬次(實驗值)。
結(jié)構與流道:零死區(qū)設計,可快速置換,降低滯留與交叉污染風險。
可視與安全:開關標示把手,狀態(tài)一目了然,盤面安裝便捷。
材質(zhì)與處理:與氣體接觸部位標準 EP 處理(可選 UP),閥座氣密材質(zhì)標準 PCTFE(可選 PI、PA)。
連接與尺寸:適配 UJR/UPG 等接頭,便于與現(xiàn)有特氣管路集成